技術(shù)編號：6099022
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于采集電場信號的傳感器，尤其涉及一種基于P型金屬氧化物半導(dǎo)體管結(jié)構(gòu)的微電場傳感器。背景技術(shù) 現(xiàn)有的電場微傳感器的感應(yīng)原理主要是動態(tài)感應(yīng)的原理，即使用諧振結(jié)構(gòu)交替地阻擋感應(yīng)電場的導(dǎo)體，從而產(chǎn)生感應(yīng)電流。這種動態(tài)感應(yīng)的電場微傳感器的主要缺陷是(1)由于微諧振結(jié)構(gòu)對工藝線要求較高，并且活動結(jié)構(gòu)的封裝較困難，因此使用這種結(jié)構(gòu)的電場微傳感器其可靠性較差。(2)采用動態(tài)感應(yīng)電場的原理使得其分辨率不高(目前報道的最高分辨率為630V/m)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明...
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