技術(shù)編號：6098966
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種壓阻式高頻動態(tài)低壓傳感器，特別涉及一種基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)硅體微機械加工技術(shù)的高頻動態(tài)壓阻低壓傳感器，特別適用于空氣動力學(xué)試驗(俗稱風(fēng)洞試驗)、水利工程、航空航天、兵器試驗、船舶等的動態(tài)壓力測量。背景技術(shù)MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術(shù)的硅體微機械加工技術(shù)用于壓阻式壓力傳感器的制作始于20世紀(jì)70年代后期，利用硅的壓阻效應(yīng)，用平面集成電路工...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。