技術(shù)編號：6094742
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是一種用于測試溶液PH值的氫敏化學(xué)傳感器，屬于半導(dǎo)體傳感器。常用的氫敏化學(xué)傳感器采用在硅襯底上制備一個(gè)N溝或P溝場效應(yīng)管結(jié)構(gòu)，其柵介質(zhì)采用氫敏的薄膜，柵電極不需要直接引出，而是通過被測溶液及參比電極引出。這樣的氫敏化學(xué)傳感器在測試時(shí)必須將柵介質(zhì)與被測溶液接觸，致使氫敏化學(xué)傳感器的封裝變得比較困難。為了提高封裝的可靠性，通常采用將源漏從背面接觸引出，使柵和源、漏分別置于硅片的上下兩面。為了能使源和漏從背面引出，必須在背面用化學(xué)腐蝕的方法腐蝕到源和漏...
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