技術(shù)編號(hào)：6093166
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬一種用于在片檢測(cè)共面集成電路芯片電學(xué)特性的信號(hào)傳輸裝置。對(duì)共面集成電路芯片檢測(cè)時(shí)，普通的電子探針(例如鎢探針)在頻率數(shù)十兆以上時(shí)，將產(chǎn)生嚴(yán)重的寄生阻抗，使信號(hào)無(wú)法傳輸。因此，它只能給出直流或低頻特性，不足以判斷集成電路性能的優(yōu)劣。特殊設(shè)計(jì)制作的芯片微波探針是一種過(guò)渡器。它要完成同軸傳輸線到共面波導(dǎo)之間的轉(zhuǎn)換和共面波導(dǎo)到待測(cè)器件芯片外接傳輸線即信號(hào)鍵合墊之間的過(guò)渡，實(shí)現(xiàn)直流到微波寬頻帶范圍內(nèi)特性阻抗的均勻一致性，為測(cè)試設(shè)備和共面集成電路芯片鍵合墊之間...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。