技術(shù)編號：6090056
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型為用于亞微米級超精加工表面微觀形貌測量的超精激光測頭。在亞微米級超精加工領(lǐng)域中，被加工表面的粗糙度已經(jīng)達(dá)到Ra＝0.064～0.008μm(▽11～▽14)級以上，這樣的超精密、超光滑表面不適于接觸測量，因為接觸式輪廓儀觸針的微小壓力足以使該種表面遭到破壞，所以迫切需要研制出高精度的非接觸式表面微觀形貌測量儀器。目前用于表面微觀形貌測量的非接觸式測試儀器主要有三種類型(一)激光散斑測量儀器；(二)電子掃描顯微鏡；(三)雙頻激光干涉儀。第一種儀器只...
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