技術(shù)編號(hào):6086818
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光器譜寬度測(cè)定,更多地涉及用干涉儀或衍射儀("光譜儀") 精確地估算光源的帶寬,"光譜儀"的脈沖響應(yīng)函數(shù)具有通常與被測(cè)光源相當(dāng)或更 大的帶寬。背景技術(shù)DUV石印術(shù)的線(xiàn)變窄型受激準(zhǔn)分子激光源的輸出譜一般在時(shí)間上不恒定。雖然 技術(shù)進(jìn)步大大提高了穩(wěn)定性,但是譜的帶寬或者函數(shù)形態(tài)(形狀)都未完全固定。然 而,迄今還未完全表征出譜形變化對(duì)石印術(shù)性能的影響,半極大值全寬度(FWHM) 和95%封閉能量(195%或,有時(shí)稱(chēng)為"譜純度"E95)照射帶寬對(duì)圖像反...
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