技術(shù)編號：6081003
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及至少部分地由硅構(gòu)成的電容式加速度計。傳統(tǒng)的電容式硅加速度計通常包括一個位于細(xì)的懸絲上的檢測質(zhì)量，以便形成一個擺錘，該擺錘夾在兩個固定的電容器極板之間，每一個電容器極板距離檢測質(zhì)量一個小的間隙。在作用到該加速度計上的加速度的作用下，一個間隙增大，另一個間隙縮小，給出差動輸出信號。這種傳統(tǒng)的加速度計要求兩個電容器的間隙非常精密的匹配，以便消除諸如振動校正等的影響。通常向檢測質(zhì)量上施加一個直流電壓偏壓，以便將使檢測質(zhì)量的位置歸零所需的靜電驅(qū)動電壓線性化...
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