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超精密微小差壓測(cè)量裝置及超精密差壓測(cè)量裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6080734

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本發(fā)明涉及使用高性能電子式稱量·壓力轉(zhuǎn)換器的超精密微小差壓測(cè)量裝置及超精密差壓測(cè)量裝置,涉及用作差壓計(jì)的基準(zhǔn)儀或低阻力過(guò)濾器的壓力下降特性的計(jì)測(cè)、過(guò)濾器性能的監(jiān)視、處理減壓下的氣體的流體設(shè)備的流動(dòng)特性的評(píng)價(jià)用工具的超精密微小差壓測(cè)量裝置,和通用于數(shù)個(gè)大氣壓左右的差壓測(cè)量的超精密差壓測(cè)量裝置。背景技術(shù) 作為微小壓力和微小差壓的測(cè)量的基準(zhǔn)儀,以往通常使用阿斯卡尼亞型微壓計(jì)和液柱型壓力計(jì)之類的、用目視方法讀取液柱高度的型式的差壓測(cè)量裝置,但是,也使用利用電子式稱...
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