技術(shù)編號：6061174
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種載晶臺體傳動裝置，具有旋轉(zhuǎn)臺、載晶臺、諧波傳動減速裝置、電機、電機連接架以及底架，其中旋轉(zhuǎn)臺連接于底架上，旋轉(zhuǎn)臺的一側(cè)安裝有電機連接架，電機連接架中安裝有電機，電機的輸出軸通過諧波傳動減速裝置連接載晶臺保持架，載晶臺保持架上設(shè)有載晶臺及晶體位置調(diào)整機構(gòu)。本實用新型采用諧波傳動減速裝置，載晶臺傳動平穩(wěn)，噪聲小，傳遞的扭矩增大，結(jié)構(gòu)簡單，減速比大，傳動效率高，轉(zhuǎn)臺運動精度高，回差小，甚至可以實現(xiàn)無回差傳動；壽命長，無沖擊，無噪音，維修方便，便...
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