技術(shù)編號：6059380
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種雙端音叉掃描探針測頭系統(tǒng)，由剛性支承、雙端音叉和鎢探針構(gòu)成。剛性支承為整個掃描探針測頭系統(tǒng)的剛性支承件，用于固定整個測頭機(jī)構(gòu)，并對雙端音叉的一個叉端形成全約束。雙端音叉的一個叉端連接于剛性支承底面，另一叉端作為自由端且下方底面正中間固定設(shè)置大長徑比鎢探針。本實(shí)用新型可用于對軟材料等表面的高分辨率、非破壞性測量，并可用于對微溝槽、微臺階等具有大深寬比微器件的表面形貌掃描。專利說明雙端音叉掃描探針測頭系統(tǒng) [0001] 本實(shí)用新型涉及...
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