技術(shù)編號(hào):6055522
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種高溫測(cè)試探針卡,包括基板、陶瓷板、底座、探針,加熱裝置、溫度控制器以及溫度傳感器;其中,所述陶瓷板固定于所述基板底部、所述底座固定于所述陶瓷板底部,所述加熱裝置及溫度傳感器固定于所述陶瓷板及所述底座之間,所述探針的第一端穿過(guò)所述底座以用于與晶圓接觸,第二端與基板上的電路相連,所述溫度控制器連接于所述溫度傳感器及所述加熱裝置。本實(shí)用新型通過(guò)植入加熱電阻絲,使得電阻絲和探針充分接觸,溫度控制器對(duì)加熱電阻絲實(shí)施溫度控制,避免了測(cè)試過(guò)程中探針丟失...
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