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一種光學(xué)位移測量系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6045499

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本實用新型公開的一種光學(xué)位移測量系統(tǒng)包括光源、準(zhǔn)直系統(tǒng)、用于標(biāo)度尺的光柵、分光系統(tǒng)、奇數(shù)反射系統(tǒng)、偶數(shù)反射系統(tǒng)、合光系統(tǒng)、光電探測器和信號處理系統(tǒng)。光源發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直系統(tǒng)準(zhǔn)直為平行光照明光柵,光柵的圖像經(jīng)分光系統(tǒng)分成兩束,一束入射到奇數(shù)反射系統(tǒng),另一束入射到偶數(shù)反射系統(tǒng)或直接進(jìn)入合光系統(tǒng),合光系統(tǒng)將來自奇數(shù)反射系統(tǒng)的光束和來自偶數(shù)反射系統(tǒng)或直接進(jìn)入合光系統(tǒng)的光束重疊形成莫爾條紋,經(jīng)光電探測器轉(zhuǎn)換為電信號后輸入到信號處理系統(tǒng),對輸入信號進(jìn)行處理分析得到位移量...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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