技術(shù)編號:6045499
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型公開的一種光學(xué)位移測量系統(tǒng)包括光源、準(zhǔn)直系統(tǒng)、用于標(biāo)度尺的光柵、分光系統(tǒng)、奇數(shù)反射系統(tǒng)、偶數(shù)反射系統(tǒng)、合光系統(tǒng)、光電探測器和信號處理系統(tǒng)。光源發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直系統(tǒng)準(zhǔn)直為平行光照明光柵,光柵的圖像經(jīng)分光系統(tǒng)分成兩束,一束入射到奇數(shù)反射系統(tǒng),另一束入射到偶數(shù)反射系統(tǒng)或直接進(jìn)入合光系統(tǒng),合光系統(tǒng)將來自奇數(shù)反射系統(tǒng)的光束和來自偶數(shù)反射系統(tǒng)或直接進(jìn)入合光系統(tǒng)的光束重疊形成莫爾條紋,經(jīng)光電探測器轉(zhuǎn)換為電信號后輸入到信號處理系統(tǒng),對輸入信號進(jìn)行處理分析得到位移量...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。