技術(shù)編號：6043818
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種藍寶石微缺陷無損檢測裝置，該裝置中激光器、分光鏡和藍寶石樣品固定在光路直線導軌上的同一個水平面上；激光器發(fā)出的激光經(jīng)分光鏡分成兩路參考光和入射光，高清CCD1采集參考光信號傳輸?shù)接嬎銠C；入射光照射藍寶石樣品后分為透射光和散射光，高清CCD2采集透射光信號傳輸?shù)接嬎銠C，高清CCD3采集散射光信號傳輸?shù)接嬎銠C，同步觸發(fā)器使高清CCD1和高清CCD2同步對參考光和透射光進行采集。本發(fā)明對藍寶石微/納米級缺陷進行檢測同，不受樣品形狀、尺寸的影響，可...
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