技術(shù)編號：6043369
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種折疊梁式高靈敏度微機械加速度計，包括上蓋、敏感硅結(jié)構(gòu)和下蓋，上蓋設(shè)有上固定電容板，下蓋設(shè)有下固定電容板，敏感硅結(jié)構(gòu)包括固定框架、敏感質(zhì)量塊和折疊梁，固定框架各側(cè)邊均設(shè)有應力釋放槽，固定框架于應力釋放槽與固定框架內(nèi)側(cè)之間形成匹配梁，敏感質(zhì)量塊設(shè)于固定框架中間，并通過折疊梁連接于匹配梁上，上固定電容板包括上檢測電極和上匹配電極，上匹配電極圍設(shè)于上檢測電極四周，下固定電容板包括下檢測電極和下匹配電極，下匹配電極圍設(shè)于下檢測電極四周，敏感質(zhì)量塊位于上檢測電極和...
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