技術編號：6039361
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微結構傳感器的制造方法，特別是一種梁膜一體結構的諧振式壓力傳感器芯片的制造方法。背景技術 微機械諧振式壓力傳感器因其精度高、穩(wěn)定性好、體積小、易批量生產等一些優(yōu)良的特性，被譽為新一代的壓力傳感器，是微電子機械(MEMS)技術繼壓阻式壓力傳感器之后的又一項典型應用。為了隔離待測介質及增加了壓力靈敏度，微諧振式壓力傳感器通常并不直接反映壓力的變化，即外加待測壓力并不直接作用于諧振器，而是通過壓力膜間接改變諧振器的剛度，從而改變諧振頻率，屬于二次敏感原...
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