技術(shù)編號(hào)：6037819
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型與光學(xué)真空鍍膜生產(chǎn)過(guò)程中在線檢測(cè)膜厚的裝置有關(guān)。技術(shù)背景己有的模擬膜厚測(cè)量?jī)x(以南光機(jī)器的GM服-9704光學(xué)膜厚測(cè)量控 制儀為代表)由主信號(hào)低噪聲放大器、參考信號(hào)放大器、移相電路、帶 通濾波器、PSD解調(diào)電路，低通濾波器、DC增益器、顯示器組成(原理 框圖如圖8所示)。這種裝置是測(cè)量調(diào)制光源通過(guò)被測(cè)基片的光強(qiáng)弱變化(以選出的某 一波長(zhǎng)的光信號(hào))。通過(guò)常用的光電轉(zhuǎn)換器(光電倍增管)輸出的被測(cè) 信號(hào)的電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)放大處理加到PSD解調(diào)電路和測(cè)量用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。