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變頻投影柵線三維形貌測量儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6037591

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本發(fā)明涉及一種旨在對結(jié)構(gòu)三維形貌測量或缺陷檢測的非接觸式光學(xué)測 量儀,尤其涉及一種變頻投影柵線三維形貌測量儀。背景技術(shù)早期常用影像云紋法測量物體的三維形貌,如圖1所示的雙頻投影柵三維形貌測量儀,其包括一第一光柵ll、 一第二光柵12、 一CCD 2、 一大功率投影 燈3 、 一成像物鏡4、 一精密平動臺6、以及一計(jì)算機(jī)7。該測量儀是在被測 物體與圖像采集系統(tǒng)之間(靠近被測物體5)放置一塊固定柵節(jié)距的物理光柵 11,在投影燈的照射下,投影在被測物的柵線由于被...
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