技術(shù)編號(hào):6029219
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及紅外焦平面器件,具體是指一種采用光學(xué)方法直接進(jìn)行紅外信號(hào)讀出的室溫紅外焦平面探測(cè)器。背景技術(shù) 現(xiàn)有的VO2微測(cè)輻射熱計(jì)非致冷紅外焦平面均是利用VO2具有較高的電阻溫度系數(shù)以及與硅集成電路工藝兼容等特點(diǎn),用硅集成電路的微細(xì)加工技術(shù),在Si CMOS讀出電路上形成微橋結(jié)構(gòu),利用微橋上的VO2薄膜作為熱敏電阻來(lái)探測(cè)紅外輻射。采用常規(guī)的混成結(jié)構(gòu)模式,熱敏電阻將紅外光轉(zhuǎn)化成電信號(hào),再由讀出電路將電信號(hào)讀出,這就不可避免帶來(lái)了工藝復(fù)雜性。另外,在目前的紅外焦...
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