技術編號:6028928
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種按權利要求1的前序部分所述的長度測量裝置。 背景技術例如在DE28 45 542D1、 DE 32 01 887 Al和EP 0 459 294 Dl中描述的這類長度測量裝置用來測量長度和行程,特別是在加工機床時在坐標測量^L的情況下用來測量刀具相對于待加工的工件的相對距離,且其 在半導體工業(yè)中的應用也日益增多 其中,作為整體量具采用一種帶測量分度的比例尺,該比例尺放置 在一個沿測量方向縱向延伸的外殼中,以避免受環(huán)境影響。增量編碼或 絕對編碼...
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