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制造包括填充納米結(jié)構(gòu)的微通道的微流控元件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6028705

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本發(fā)明涉及一種制造包括至少一個(gè)由底壁、頂壁和兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成的微通道的微流控(microfluidic )元件的方法,該方法包括-在基片的表面上,形成所述微通道的底壁和兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁, -通過從沉積在所述微通道的相對(duì)的側(cè)壁和底壁上的金屬催化劑層原位生長(zhǎng),形成填充所述微通道的納米結(jié)構(gòu),-并且,通過在所述基片的表面上放置頂蓋并將所述頂蓋密封于所述表面,形成所述納米樣i通道的頂壁。背景技術(shù)諸如微型反應(yīng)器或者被稱為"p-TAS"(微型全分析系統(tǒng)micro Tot...
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