技術(shù)編號：6028377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)測量裝置領(lǐng)域，具體涉及一種汞燈燈室的光學(xué)特性測試 裝置及其測試方法。背景技術(shù)光刻法(亦稱微光刻法)用于制造半導(dǎo)體器件，光刻法使用不同波段的 光波，如紫外、深紫外、或可見光，在硅片上投影產(chǎn)生精細(xì)的光刻圖案，進(jìn) 一步通過刻蝕等工藝方法在硅片上形成精細(xì)特征圖案，因此，光刻法是半導(dǎo) 體器件生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。光刻法使用的光源除了準(zhǔn)直激光器外，還有短弧汞 燈，因此汞燈燈室的光學(xué)特性參數(shù)對光刻機(jī)中的照明分系統(tǒng)的裝配與調(diào)試是 十分重要的。其中汞燈燈室的光學(xué)特性...
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