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熱式光檢測(cè)器及其制造方法、熱式光檢測(cè)裝置、電子儀器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6026793

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本發(fā)明涉及熱式光檢測(cè)器、熱式光檢測(cè)裝置、電子儀器以及熱式光檢測(cè)器的制造方法等。背景技術(shù)作為光傳感器,眾所周知有熱式光檢測(cè)器。熱式光檢測(cè)器通過光吸收層吸收從物體放射的光,將光轉(zhuǎn)換成熱,熱檢測(cè)元件測(cè)量溫度的變化。熱式光檢測(cè)器包括直接檢測(cè)隨著光吸收而溫度上升的熱電堆、檢測(cè)電極化(electrical polarity)變化的熱電元件以及以電阻變化檢測(cè)溫度上升的輻射熱測(cè)量器。熱式光檢測(cè)器的特征是可以檢測(cè)的波段寬。近年來,利用半導(dǎo)體制造技術(shù)(MEMS技術(shù)等)嘗試制造...
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