技術(shù)編號：6023393
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及半導(dǎo)體設(shè)備和方法并且更具體地涉及一種測試射頻(RF)集成電路的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)隨著對基于毫米波的RF系統(tǒng)的需求增加，已對應(yīng)地關(guān)注于在基于硅的集成電路上集成這些RF系統(tǒng)而不是使用基于III/V的分立半導(dǎo)體部件。毫米波頻率一般定義為在約30GHz與300GHz之間。針對基于毫米波的RF系統(tǒng)的常見應(yīng)用例如包括汽車?yán)走_(dá)和高頻通信系統(tǒng)。通過使用硅集成，可以用比基于分立部件的系統(tǒng)更低的成本制造更大量的這些 RF系統(tǒng)。然而測試基于毫米波的系統(tǒng)是困難且...
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