技術(shù)編號：6021735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于MEMS傳感器，尤其涉及一種基于自諧振技術(shù)的硅微二維加速度傳感器。背景技術(shù)目前，單軸微型加速度傳感器的技術(shù)比較成熟。但在一些特殊的應(yīng)用場合，如飛行器姿態(tài)控制、導(dǎo)彈制導(dǎo)、戰(zhàn)場機(jī)器人等，往往需要檢測兩個方向的加速度。早期的二維微型加速度傳感器，大多是兩個單軸微型加速度傳感器的組合，即是將兩只單軸微型加速度傳感器相互正交裝配在一起，這種組裝的二維微型加速度傳感器的性能受裝配精度的影響極大、一致性差、集成度低、體積較大，且不能批量加工。隨著MEMS工藝水...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。