技術(shù)編號：6021300
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS矢量水聽器，具體為一種雙層封裝式硅微抗噪仿生矢量水聽器。背景技術(shù)近年來，矢量水聽器被逐漸應(yīng)用于水聲測量、探測和水下定位等領(lǐng)域。矢量水聽器內(nèi)最重要的結(jié)構(gòu)是四梁仿生微結(jié)構(gòu)體，四梁仿生微結(jié)構(gòu)體包括一個支撐框體，支撐框體中心處設(shè)有一個質(zhì)量塊，質(zhì)量的四邊分別通過一根彈性梁與支撐框體固定，在質(zhì)量塊的中心面上粘結(jié)有敏感柱體，最后四梁仿生微結(jié)構(gòu)的支撐框體通過一個內(nèi)部支撐體粘結(jié)固定在管殼上，在實際應(yīng)用時，在四梁仿生微結(jié)構(gòu)及其纖毛柱體的整體外部都套裝一個...
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