技術(shù)編號：6019418
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微流控技術(shù)，具體涉及一種MEMS玻璃球面超聲換能器片上集成系統(tǒng)及其制備方法。背景技術(shù)21世紀(jì)是生物科技將要高度發(fā)展的一個世紀(jì)，生物分析與檢測技術(shù)經(jīng)過多年的實踐，已經(jīng)逐步發(fā)展成熟。而生物分析與檢測過程中單分子或細胞檢測實驗中的樣品由于分子大小的不同，需要在不同的條件和設(shè)備中進行預(yù)處理、破碎、分離、反應(yīng)、分析和檢測等。 如果能將整個實驗過程的各個步驟進行集成化，將大大提高生物實驗的效率和實驗產(chǎn)物的產(chǎn)率，并同時提高了實驗的精確性。高強度聚焦超聲(H...
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