技術(shù)編號：6018585
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光學(xué)元件拋光表面質(zhì)量檢測，具體涉及一種。背景技術(shù)高精度光學(xué)元件的檢測包括表面面形、表面粗糙度和亞表面損傷三個參數(shù)。其中表面粗糙度和亞表面損傷是全面描述表面質(zhì)量的兩個參數(shù)。針對光學(xué)元件拋光表面質(zhì)量的全參數(shù)檢測，目前基本解決了表面粗糙度的檢測問題，針對表面粗糙度的檢測方法主要有光學(xué)探針法、干涉顯微鏡法、掃描電子顯微鏡法、輪廓儀和散射光測量法等，比較成熟的是白光干涉輪廓儀；白光干涉輪廓儀包括光源激發(fā)系統(tǒng)、白光干涉系統(tǒng)、掃描工作臺、CCD攝像機和計算機。...
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