技術(shù)編號：6017446
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的來說涉及半導(dǎo)體設(shè)備的制造，更具體的說涉及用于在測試中將一個測試系統(tǒng)接口至一個設(shè)備的接口單元。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中，在制造操作過程中通常至少對半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行一次測試。測試的結(jié)果用于對半導(dǎo)體制造操作進(jìn)一步的處理進(jìn)行控制。可以通過測試將正常運(yùn)行的設(shè)備與不能正常運(yùn)行的設(shè)備分開。然而，還可以將測試用于將數(shù)據(jù)反饋至制造操作的其它階段從而進(jìn)行能提高正常運(yùn)行設(shè)備生產(chǎn)率的調(diào)整。在其它情況下，測試結(jié)果用于將設(shè)備按照性能種類進(jìn)行歸類。例如，一個設(shè)備可能以20...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。