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一種掃描超聲波顯微鏡同時(shí)進(jìn)行多層掃描成像的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6016551

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本發(fā)明涉及,尤其是一種適用于多層材料缺陷檢測(cè)的多層同時(shí)掃描成像方法。背景技術(shù)掃描超聲波顯微鏡因?yàn)槠錈o損、可對(duì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)掃查、輻射小等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于電子芯片、微納米器件的檢測(cè),成為精密無損檢測(cè)領(lǐng)域內(nèi)不可替代的設(shè)備。大多數(shù)掃描超聲波顯微鏡是采用脈沖回波技術(shù)工作的,即一個(gè)特殊的聲學(xué)組件(如超聲波探頭)發(fā)射、接收高頻短脈沖的聲波。掃描超聲波顯微鏡整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。被測(cè)材料浸沒于水中,超聲波探頭通過夾具固定于Z軸直線電機(jī)的動(dòng)子上,用來發(fā)送超聲波信號(hào)和接收從被測(cè)材料返...
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