技術(shù)編號：6016355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種精度10 100納米級的超高精度的三維形狀測量裝置。特別是， 本發(fā)明所涉及的三維形狀測量裝置，能夠以10 100納米級的超高精度對在照相機(jī)、攝像機(jī)或光盤等中使用的非球面透鏡的透鏡面和外徑進(jìn)行掃描測量，進(jìn)而測量透鏡面相對于外徑的中心偏移，另外，能夠?qū)γ撃５墓：湍改５拈g隙、微孔或齒輪等的形狀和基準(zhǔn)面等具有三維形狀的測量物進(jìn)行掃描測量。背景技術(shù)非球面透鏡如果不能以形狀精度為萬分之一毫米、也就是100納米以下進(jìn)行制作，就發(fā)揮不出性能，從而，直至約1...
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