技術編號：6012246
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種通過使用光的干涉來檢測衍射光柵(標尺(scale))的位移(移動)量的位移檢測裝置。背景技術傳統(tǒng)地，具有標尺和檢測頭的位移檢測裝置被廣泛地用作用于精確地測量線性位移、轉動位移等的測量儀器。近年來，應用利用從發(fā)光二極管或激光器發(fā)出的光的位移檢測裝置。此外，需要能夠測量Inm以下的位移的高分辨率的位移檢測裝置。例如日本特開2009-257841號公報記載了這些傳統(tǒng)位移檢測裝置中的一種位移檢測裝置。在日本特開2009-257841號公報記載的位移檢...
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