技術(shù)編號：6011403
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種多晶硅還原爐進(jìn)氣流量測量裝置，具體涉及西門子法生產(chǎn)多晶硅的裝置。二背景技術(shù)目前，世界上生產(chǎn)多晶硅多以西門子法為主流，在生產(chǎn)過程中把按一定配比的SiHC13和氫氣通入到還原爐中，以5SiHCl3+H2 —— 2Si+2SiCl4+5HCl+SiH2Cl2為主要反應(yīng)。生成多晶硅并沉積在熾熱的硅芯表面，形成硅棒。然而實(shí)際生產(chǎn)中仍面臨以下問題在多晶硅的一個(gè)生產(chǎn)周期中，氫氣初期進(jìn)料只有幾標(biāo)方，而后期進(jìn)料能達(dá)到幾千標(biāo)方，傳統(tǒng)的流量計(jì)在保證精度的前提下...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。