技術編號：6011035
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及多普勒振鏡正弦調(diào)制多光束激光外差二次諧波測量玻璃厚度 的裝置及方法，屬于微位移檢測。背景技術精密玻璃厚度測量是工程領域一直需要面對和解決的問題。隨著科學技術的發(fā)展，厚度測量方法不斷的推陳出新，包括光學測量法、干涉測量法和衍射法等。利用這些方法一般都不能達到高準確度角度測量的要求。由于光學測角由于具有非接觸性、精度高和結(jié)構(gòu)簡單等特點而備受人們的重視， 因此使用光學測角的方法得到了越來越廣泛的應用。正是基于此種情況，我們提出了一種基于多光束激光外差檢...
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