技術(shù)編號(hào)：6009960
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及壓阻系數(shù)的測(cè)量方法，具體涉及基于SOI硅片的雙端固支梁壓阻系數(shù)的測(cè)量方法。背景技術(shù)參見圖1，SOI硅片從下到上依次包括襯底1、左右兩支撐2和雙端固支梁3，襯底 1和雙端固支梁3均為硅層，左右兩支撐2為二氧化硅層。當(dāng)雙端固支梁3的尺寸縮小到納米量級(jí)后，其質(zhì)量大大減小，由此導(dǎo)致高達(dá)GHz的諧振頻率，品質(zhì)因數(shù)，靈敏度大為提高，功耗則顯著減少。這些特性使雙端固支梁3在諧振器、濾波器、生物化學(xué)傳感器等方面有良好的應(yīng)用前景。隨著尺寸減少，傳統(tǒng)的信號(hào)檢測(cè)機(jī)制遇...
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