技術(shù)編號(hào):6009581
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微鏡片一致性檢測(cè)裝置,特別是一種非接觸式數(shù)字微鏡器件微鏡片一致性檢測(cè)儀。用于無(wú)損檢測(cè)數(shù)字微鏡器件上面每一片微鏡片的水平高度一致性。背景技術(shù)數(shù)字微鏡器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)是由美國(guó)德州儀器公司在 1987年發(fā)明的,它是一種基于半導(dǎo)體制造技術(shù)、由高速數(shù)字式光反射開(kāi)關(guān)陣列組成的器件。 DMD數(shù)字微鏡陣列采用微電子機(jī)械原理,利用鋁濺射工藝,在半導(dǎo)體硅片上生成的方形微鏡面。DMD的成像靠微鏡轉(zhuǎn)動(dòng)完成,每一個(gè)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
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- 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
- 王老師:1.機(jī)器人 2.嵌入式控制系統(tǒng)開(kāi)發(fā)
- 張老師:1.機(jī)械設(shè)計(jì)的應(yīng)力分析、強(qiáng)度校核的計(jì)算機(jī)仿真 2.生物反應(yīng)器研制 3.生物力學(xué)
- 趙老師:檢測(cè)與控制技術(shù)、機(jī)器人技術(shù)、機(jī)電一體化技術(shù)
- 趙老師:1.智能控制理論及應(yīng)用 2.機(jī)器人控制技術(shù) 3.新能源控制技術(shù)與應(yīng)用
- 張老師:激光與先進(jìn)檢測(cè)方法和智能化儀表、圖像處理與計(jì)算機(jī)視覺(jué)