技術(shù)編號：6008926
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)一種共焦顯微技術(shù)，尤其是指一種線型彩色共焦顯微系統(tǒng)。背景技術(shù)傳統(tǒng)的彩色共焦顯微系統(tǒng)，一般是架設(shè)于桌面上以進(jìn)行垂直或橫向掃描來檢測待測物的表面形貌。由于系統(tǒng)體積大與占用空間的問題容易造成量測不便，對于待測物若是輪廓表面的傾斜角度過大或是量測空間受限的情況，以桌上型的架構(gòu)要進(jìn)行量測將有其限制性。例如欲量測大型晶圓上所形成的大規(guī)模集成電路(large scale integration,LSI)芯片的凸塊高度，礙于機型架構(gòu)的限制，將無法使用于一般在線(...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。