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異物檢測(cè)裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6008203

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本發(fā)明涉及ー種微小顆粒異物的檢測(cè)技術(shù),尤其涉及對(duì)液晶顯示器及微電子生產(chǎn)領(lǐng)域中基板表面上的異物進(jìn)行檢測(cè)的裝置和方法。背景技術(shù)在泛半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中,例如在液晶顯示器生產(chǎn)過(guò)程中,許多精密生產(chǎn)設(shè)備需要在距基板超近距離(通常為若干微米)的條件下進(jìn)行非接觸工作。在這種情況下,如果玻璃基板上存在異物,并且有些異物的高度超過(guò)該設(shè)備與基板之間的工作距離,將導(dǎo)致該超高的異物對(duì)精密生產(chǎn)設(shè)備的非正常接觸和擠壓、以及異物粘連,從而引起該精密生產(chǎn)設(shè)備 的損傷,以及對(duì)后續(xù)加工品的連續(xù)破...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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