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薄膜或光學(xué)元件表面激光損傷的判別方法及其判定裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6007517

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本發(fā)明涉及薄膜或光學(xué)元件表面激光損傷的判別方法及其判定裝置。 背景技術(shù)在大功率高能量激光系統(tǒng)中,存在大量的薄膜元件,這些元件的抗激光損傷能力與系統(tǒng)能否正常有效運行密切相關(guān)。已有研究表明,薄膜元件在強激光下的破壞完全由元件表面薄膜的抗激光能力所決定。因此,隨著高功率激光器應(yīng)用范圍的不斷擴大,薄膜抗激光損傷性能的重要性日益突出,以致激光損傷閾值成為光學(xué)薄膜元件不可缺少的一項性能指標,因而對光學(xué)薄膜激光損傷閾值的測試也就成為亟待解決的技術(shù)問題。在激光損傷閾值測試...
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