技術(shù)編號：6006617
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于集成電路故障診斷，具體涉及一種新型的基于流體電光材料的電光探頭及應(yīng)用該電光探頭對集成電路表面電場進(jìn)行探測的方法。背景技術(shù)隨著集成電路制造業(yè)的發(fā)展，芯片的集成度越來越高，運(yùn)行速率越來越快，門限電壓越來越低，對集成電路測試特別是故障診斷提出了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。集成電路的故障診斷就是要找出引起故障發(fā)生的地點(diǎn)或原因，從而為集成電路的設(shè)計(jì)和制作工藝的改進(jìn)提供幫助。因此，故障診斷對提高集成電路可靠性有重要意義，也一直是微電子研究工作的重要方面。目前，集成電路故障診...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。