技術(shù)編號(hào):6005498
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光位移傳感,尤其涉及一種位相正交雙頻激光回饋位移測(cè)量系統(tǒng)。背景技術(shù)激光回饋,又稱(chēng)激光自混合干涉,其基本原理是一個(gè)外部反射面將激光的輸出光反射回激光增益管,與激光器內(nèi)部的光場(chǎng)進(jìn)行自混合干涉,從而調(diào)制激光器的增益,使激光的輸出光強(qiáng)發(fā)生周期性變化,通過(guò)解調(diào)輸出光強(qiáng)就可以得到外部反射面的信息。基于激光回饋的位移測(cè)量系統(tǒng)只有一個(gè)光學(xué)通道,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、易準(zhǔn)直、性?xún)r(jià)比高等優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)回饋方式的不同,激光回饋可以分為準(zhǔn)直外腔回饋和非準(zhǔn)直外腔回饋等。其中,...
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