技術(shù)編號：6004649
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于測量表面覆蓋物的傳感器，尤其是一種用于測量露和霜的傳感器。背景技術(shù)在用于測量傳感器表面覆蓋物的電容傳感器，擁有兩個或兩組電極，構(gòu)成電容器。 為了制造這種電容器，通常利用微電子或MEMS加工工藝(例如光刻)，在基片的表面形成梳指狀的電極陣列。電極之間的空氣的相對介電常數(shù)近似地等于1。傳感器表面覆蓋了需要檢測的覆蓋物時，覆蓋物的相對介電常數(shù)大約1，因此覆蓋物的增加會引起兩組電極之間電容的增加，并可以利用信號調(diào)理電路檢測出電容的變化。所述方法的...
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