技術編號：6001701
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及復合傳感器，尤其是涉及具有能夠沿驅(qū)動方向及檢測方向進行位移的振動器的復合傳感器。背景技術一直以來，已知有如下的角速度傳感器四個振動器關于基板的水平面內(nèi)的規(guī)定呈點對稱地配置，且在各振動器上設有檢測電極(參照專利文獻1)。在上述角速度傳感器中，驅(qū)動相鄰的全部振動器，使它們彼此按照以規(guī)定點為中心的圓周方向上的相反相位進行振動，在繞與基板垂直的軸產(chǎn)生角速度時，各振動器的檢測錘沿與驅(qū)動振動方向正交的方向進行位移。對由該位移所引起的檢測錘與振動器之間的電容變...
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