技術編號：6000591
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于精密測量領域，特別涉及微機電系統(MEMS)頻閃觀測與干涉視覺三維測量的裝置。背景技術微機電系統(MEMS)是指可以批量制作的，集微型機構、微型傳感器和微執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通訊和電源等于一體的微型系統。廣義上包含毫米和微米尺度的機械，但并非單純的宏觀機械微小化。MEMS研究需要解決其批量生產過程中面臨的材料、設計、制造、測試等方面的各種基礎理論和關鍵技術問題。由于MEMS除電子部件外還包含機械部件，這使得MEMS測試必須...
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