技術(shù)編號(hào)：5999785
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制造方法，所述應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)適用于 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMQ傳感器，尤其是麥克風(fēng)和壓力傳感器，這種微機(jī)電系統(tǒng)傳感器涉及將器 件功能的所有電子和機(jī)械元件全部或部分地集成在硅基底或任何其它材料上。背景技術(shù)使得每項(xiàng)功能(所涉及的部件)的尺寸更小、性能更好并且成本更低是現(xiàn)代電子 工業(yè)發(fā)展的主要推動(dòng)力。為了實(shí)現(xiàn)這些目的，工業(yè)上試圖將更多功能，包括機(jī)械傳感器和它 們的傳感電子器件，集成到小型化的芯片上。用于在MEMS麥克風(fēng)和壓力傳感器中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。