技術(shù)編號：5993230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于重離子試驗設(shè)備的研究，具體涉及一種重離子單粒子效應(yīng)雙軸自動限束光闌。背景技術(shù)在重離子單粒子試驗中，為了使離子束斑既可以覆蓋被測芯片的整個靈敏區(qū)又不影響周圍器件，需要依據(jù)試驗樣品板的結(jié)構(gòu)布局合理選擇束斑尺寸。目前限定離子束斑尺寸的手段為在樣品輻照靶室入口處手動安裝特定尺寸的單片限束光闌，然而由于光闌安裝過程是在試驗前完成，如果試驗過程中需要改變束斑尺寸，則需破壞靶室真空環(huán)境，降低試驗效率。因此，針對單粒子試驗中的束斑尺寸調(diào)節(jié)問題，需要開展重離子...
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