技術編號：5968008
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及氣體流量測量領域，尤其涉及一種能夠精確測量微量氣體的流量計及其測量方法。背景技術現(xiàn)有的氣體流量計大都是介入式，例如差壓式、速度式、容積式、渦街、超聲振子、熱式等樣式的流量計，需要將節(jié)流件、渦輪或旋轉(zhuǎn)體等置于待測氣體的通道內(nèi)，不僅操作復雜，而且直接接觸待測氣體必然會受到一定程度的腐蝕、堵塞等，進而影響到介入件的靈敏度，導致測量不準確；且，現(xiàn)有的氣體流量計只能測量具有一定流速或溫度的大量氣體，而對于流速較慢的微量氣體(如I小時內(nèi)僅流通共I毫升氣體)，...
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