技術(shù)編號：5967318
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了基于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的微波相位檢測裝置，屬于微電子機械系統(tǒng)的。背景技術(shù)在微波技術(shù)研究中，微波相位是表征微波信號特征的一個重要參數(shù)。相位檢測裝置在天線相位方向圖的測試和近場診斷等方面有極其廣泛的應(yīng)用，應(yīng)用最廣泛的微波相位檢測器是利用場效應(yīng)晶體管構(gòu)成的吉爾伯特乘法器，這種微波相位傳感器的缺點在于使用了有源器件，從而帶來了不可忽略的噪聲和功耗，影響了檢測的準確度。自從二十世紀末以來，人們使用RF MEMS技術(shù)來實現(xiàn)低噪聲和低功耗的微波相...
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