技術(shù)編號(hào)：5966747
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于確定轉(zhuǎn)速的微機(jī)械科氏轉(zhuǎn)速傳感器(MEMS轉(zhuǎn)速傳感器)，包括基底、測量軸線(X軸)、檢測軸線(Y軸)以及驅(qū)動(dòng)軸線(Z軸)，每個(gè)軸線相對(duì)彼此正交地安置。轉(zhuǎn)速傳感器還包括在平行于所述基底的X-Y平面內(nèi)安置的第一和第二驅(qū)動(dòng)模塊，其中每個(gè)驅(qū)動(dòng)模塊借助于中央懸架能夠旋轉(zhuǎn)地連接到所述基底。沿Y軸安置有兩個(gè)中央懸架。在每個(gè)中央懸架處還設(shè)有用于產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)模塊繞驅(qū)動(dòng)軸線旋轉(zhuǎn)振蕩的驅(qū)動(dòng)器件。背景技術(shù)由美國專利US5635640可知采用MEMS技術(shù)并且包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。