技術(shù)編號：5964251
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜生長光學(xué)監(jiān)控技術(shù)，具體涉及。背景技術(shù)光學(xué)薄膜生長的光學(xué)特性的好壞取決于對生長的膜層折射率及厚度參數(shù)的精確掌握和控制。傳統(tǒng)上的監(jiān)控方法有時(shí)間監(jiān)控、石英晶振監(jiān)控和光強(qiáng)值的光學(xué)監(jiān)控，前兩者對于膜層的折射率無法進(jìn)行獲取，對于膜層的光學(xué)厚度的控制存在較大誤差。光學(xué)監(jiān)控方法可以同時(shí)獲取膜層的折射率及厚度生長信息，被認(rèn)為是光學(xué)薄膜生長監(jiān)控中最有效的方法之一。一般來講，光學(xué)監(jiān)控直接獲得的信號是生長薄膜的透射光或反射光的光強(qiáng)信號。為了得到薄膜的生長厚度及折射率...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。