技術(shù)編號:5962602
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于將球面透鏡等的表面形狀利用激光干涉計進行檢查的干涉計裝置。背景技術(shù) 為了進行例如透鏡的加工精度的檢查等而利用干涉計裝置。作為干涉計裝置的構(gòu)成,至少包括射出可干涉光的激光光源、用于將該激光光源所發(fā)散的光形成平行光束的準直透鏡、具有被檢測透鏡的被檢測面的基準形狀的基準透鏡。基準透鏡其與來自準直透鏡的平行光束入射的一側(cè)相反的另一側(cè)的面,即與被檢測透鏡相對的面為基準面,且其表面形狀呈與被檢測透鏡的被檢測面相同或相似的形狀。激光光源所發(fā)出的激光光束...
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